成都四洋科技有限公司官方網站

SQM-220薄膜沉積控制器

SQM-220薄膜沉積控制器高達6個通道的輸入和兩個額外的真空計通道,加上7英寸TFT顯示使SQM-220更加通用和方便。可以將傳感器的輸入分配給具有不同參數的不同材料,由DSP處理器控制的高速高精度測量過程提高了薄膜的質量和可重復性。具有精度高、穩定性好、儀器配置合理等特點。自動保存功能,保存的參數/單位預置,在重啟后可以自動應用。

特點

最多6個通道,用于帶石英天平的厚度監視器傳感器

7”TFT觸摸面板顯示

直觀的多語言界面

二維實時圖表模塊(可選)

緊湊的設計

兩個真空計通道

多達8個shutters和I/O可重新編程

繼電器輸出

用于速率和厚度監控的可編程模擬輸出,具有16位分辨率

通訊接口:RS232/485,以太網IP

行業標準6MHz晶體

頻率分辨率:0.1 Hz(適用于220-010)或0.01 Hz(適用于222-010)

快速的SE和LabVIEW庫

最多可操作兩個多晶傳感器頭(氣動或步進電機)

19“機架裝配或獨立

一鍵式材料更改

常用材料的收藏夾列表

保存個人用戶配置文件

內置視頻教程

應用

用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英晶體振蕩器的頻率在時間上的變化(以圖形的形式)。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發速率。適用于如MBE應用

技術規格

傳感器輸入通道

6

膜厚

0 - 9999000 ?

速率

0 - 9999 ?/s

兼容的傳感器
(兩個通道)

CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION等

頻率分辨

0.1 Hz (220-010) ;0.01 Hz (222-010)

頻率范圍

2-6MHz

膜厚分辨

220-010: 0.1 ? ;222-010: 0.01 ?

速率分辨

220-010: 0.1 ?/s ;222-010: 0.01 ?/s

頻率穩定性

0.5ppm

Tooling factor

1 – 400%

測量單位

?,K?,nm

測量類型

100ms至2s(取決于220-010/222-010)

Shutter控制

手動,時間,膜厚

Shutter時間

1 - 1000000 s

真空計輸入通道

2

壓力單位

mbar, Pa, Torr, Psia

除氣時間

1-3分鐘

輸出

8個繼電器輸出(2個輸出有COM NC和NO觸點)

2個模擬輸出: 0-10V(厚度、速率、壓力)

輸入

4個數字輸入(24V邏輯)

通訊接口

RS232/485,Ethernet

用戶界面

7寸TFT觸摸屏

語言

英語,德語

通訊協議

MODBUS-TCP

尺寸

212.6 x 128.4 x 260.9 mm

重量

3Kg

電源要求

100-240VAC, 50/60Hz, Max 100W

版權所有? 成都四洋科技有限公司官方網站    蜀ICP備14007155號    技術支持: 竹子建站
欧美AV国产AV手机在线