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Residual Gas Analyzer介紹

       殘余氣體分析儀(RGA)是一種質譜儀,可幫助確定殘留在不完全真空室中的物質的組成。一個典型的現代殘余氣體分析儀用燈絲中的電子電離真空室中的一些氣體。然后,離子被導入一個四極質量過濾器,該過濾器使用電場只通過特定質量的離子。最后,離子的流動電荷被檢測為電流。通過改變質量濾波器中的電場并記錄到檢測器的合成電流,得到了一個質譜。由離子發生器、四極質量過濾器、探測器和電真空饋通組成的傳感器探頭安裝在真空室中。電子封裝與電源線的大氣側和計算機相連。例如,一個RGA安裝在真空室上,并在2.2x10 -8 Torr產生以下頻譜。