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MG15真空計控制器

MG15能夠支持4個Active真空計和3個Passive真空規管,將測量范圍擴展到2x10-12mbar。MG15可以完全由軟件控制,通過一個可用的接口進行遠程控制。MG15還支持離子電流(Flux Monitor)的測量及顯示,單位是[nA],相關的所有設定值和模擬輸出也會同步為[nA]單位。

特點

測量范圍從大氣壓到2x 10-12毫巴

壓力圖

壓力趨勢圖

測量濾波(low, med, hi)

控制幾乎所有商用的Bayard-Alpert離子計

有時間和功率限制的Bayard-Alpert脫氣

支持Ir/ W /Thoria燈絲

Bayard-Alpert超壓保護

可選擇的測量單位:mbar, Torr, Pascal, Psia

氣體特定修正與一個定制設置

單元超溫保護

10個單獨可編程的設定點,設定閾值和滯后功能

用戶定義的通道名稱

主動測量真空計的自我識別

顯示離子束流

應用

任何高真空和超高真空系統

極限壓力測量(從大氣到超高壓范圍)

可烘烤和不可烘烤系統

MBE離子束流規控制

技術規格

測量通道

7通道(Active真空計:4個; Passive真空規:最多3個-訂購時定義的數量)

顯示范圍

2 x 10-12 mbar 至2 x 10+5 mbar

測量范圍
Active真空計
Passive真空規
*與連接量規有關

5 x 10-10 mbar

2 x 10-12 mbar

其他測量*
(Flux Monitor)

離子束流(束流規應用)

發射電流

0.05mA至10mA

設定點(每個通道的單獨編程)

10個(4個NC/NO;6個NO)

支持的Active真空計

Inficon,Leybold,Pfeiffer,MKS,ATMION真空計等

支持的Passive真空計

IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, GP274系列, SRS,ETI等

繼電器輸出帶有配置激活信號

4個(發射電流,除氣)

數字輸入

4

模擬輸出

4(0-10V)

通訊協議

Modbus

通訊接口

RS232/485/422, Ethernet,Profinet-可選(訂購時注明)

用戶界面

7寸TFT顯示及觸摸控制

電源

100-240VAC,50/60Hz,max 200W

尺寸

212.6*128.4*260.3 mm

重量

3.8Kg

*允許顯示無源儀表的離子電流,而不是真空測量。電流用[nA]表示,相關的所有設定值和模擬輸出也用[nA]表示。

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